简介：
无尘氮气烤箱应用于半导体、电子元器件、汽车电子、通讯等工业产品的烘烤、干燥预热、老化等用途。氧含量可以控制在50ppm以内，可有效防止产品氧化。
主要特点：
1、镜面不锈钢加热内胆
2、千级无尘的工艺环境设计满足氧气浓度50PPM以下
3、超温及过载保护等多种安全措施
4、满足快速降温的水冷结构
设备参数：
| 项目 | 参数 |
| 外型尺寸(L*W*H) | 2350 x 1170 x 2110mm |
| 内部腔体(L*W*H) | 400 x 650 x 500mm |
| 设备颜色 | 电脑白+深蓝色 |
| 设备重量 | Approx. 1050KG |
| 电气要求 | 3 phase, 380V 50/60Hz |
| 电源功率要求 | 25KW |
| 升温时间 | 约Approx. 20 minute（200℃，空载） |
| 温度控制范围 | +60℃ -- 250℃ |
| 温度控制方式 | PID闭环控制 + SSR驱动 |
| 加热腔体数量 | 4 Chambers |
| 温度控制精度 | ± 0.5℃ |
| 温度均匀性 | 200℃±1.5% |
| 工艺气体 | 氮气 or 空气 (Flow Meter 3.5kgf/cm) |
| 腔体内部材料 | SUS304 Stainless Steel |
| 托盘数量 | 2Units Perforated SUS304 |
| 气体耗量 | Purge：4m³-5m³/ Chamber；Run：3m³-4m³/Chamber |
| 异常报警 | 温度异常（恒温后超高温或超低温） |
| 排风量要求 | 5-8 m³/ min |